Tyhjiöprosesseja
Tyhjiöprosesseja ovat teolliset menetelmät, joissa hyödynnetään tyhjiöolosuhteita aineen käsittelyyn tai muokkaamiseen. Tyhjiö tarkoittaa tilaa, jossa kaasunpaine on merkittävästi alempana kuin ilmakehän paine. Tällaisia olosuhteita käytetään monissa sovelluksissa, jotka perustuvat esimerkiksi kaasujen tai haihtuvien aineiden poistoon, tai prosessien hallintaan korkeassa lämpötilassa ilman haitallisia reaktioita.
Yleisimpiä tyhjiöprosesseja ovat tyhjiöpinnoitus, jossa ohut kalvo materiaalia kerrostetaan tyhjiössä substraatin pintaan. Tämä menetelmä on keskeinen
Tyhjiöuunit ovat toinen tärkeä tyhjiöprosessien ryhmä. Niitä käytetään esimerkiksi metallien lämpökäsittelyyn ja sintraukseen ilman hapettumista. Tyhjiö