Restdefekten
Restdefekte, auch als residual defects bezeichnet, sind Kristallfehler, die nach einem Fertigungs-, Wärmebehandlungs- oder Bestrahlungsvorgang in einem Material verbleiben und nicht vollständig beseitigt werden. Typische Restdefekte umfassen Vakanzen (fehlende Atome), Selbstinterstitialdefekte, Antisite-Defekte, Versetzungen, Zwillings- und Stapelfehler sowie Defekt-Komplexe mit Fremdatomen.
Bildung und Stabilität: Sie entstehen durch Nichtgleichgewichtsprozesse wie schnelles Abkühlen, plastische Verformung, Strahlung oder Diffusion bei
Auswirkungen: Restdefekte beeinflussen mechanische Eigenschaften (Härte, Festigkeit, Duktilität), Diffusion und elektrische sowie thermische Leitfähigkeit. In Halbleitern
Erkennung und Umgang: Messmethoden umfassen Transmissionselektronenmikroskopie (TEM), Röntgenbeugung, Positronen-Annihilation-Spektroskopie, Elektronenspinresonanz und andere Techniken. Zur Reduktion gehören