Eksimerilamput

Eksimerilamput ovat kaasupurkauslamppuja, jotka tuottavat ultraviolettisäteilyä (UV) stimuloidun emission kautta. Ne toimivat käyttämällä sähköpurkausta ionisoimaan jalokaasua ja halogeenia, mikä muodostaa lyhytikäisiä, epästabiileja molekyylejä, eli eksimeerejä. Nämä eksimeerit vapauttavat energiansa UV-fotoneina, kun ne palaavat perustilaan.

Eksimerilamppuja on useita erilaisia, riippuen käytetystä eksimeerimateriaalista. Yleisimpiä ovat argonfluoridi (ArF) -lamput, jotka tuottavat 193 nm:n aallonpituutta, ja kryptondifluoridi (KrF) -lamput, jotka tuottavat 248 nm:n aallonpituutta. Muita esimerkkejä ovat xenonkloridi (XeCl) -lamput (308 nm) ja xenondimerejä (Xe2) käyttävät lamput (172 nm).

Näiden lamppujen etuja ovat korkea UV-intensiteetti ja aallonpituuden tarkka hallinta. Ne ovat kuitenkin yleensä kalliimpia ja monimutkaisempia kuin perinteiset UV-lamput. Eksimerilamppuja käytetään monissa sovelluksissa, kuten puolijohdeteollisuudessa fotolitografiassa, lääketieteellisessä steriloinnissa, materiaalikäsittelyssä ja tieteellisessä tutkimuksessa. Esimerkiksi 193 nm:n ArF-lamput ovat keskeisiä nykyaikaisessa mikropiirien valmistuksessa.