vakuusvalvontaa

Vakuusvalvontaa tarkoitetaan alipaineen seurantaa ja hallintaa järjestelmässä tai prosessissa, jotta saavutetaan ja ylläpidetään haluttu paine-tila, puhtaus ja vakaus. Tämän valvonnan tarkoituksena on varmistaa prosessin luotettavuus, suojata laitteita sekä havaita vuotoja, epäpuhtauksia ja poikkeavuuksia ajoissa.

Keskeisiä mitattavia parametreja ovat paineen arvo ja vaihtelut sekä kaasujen koostumus ja lämpötila. Paineen mittaukseen käytetään erilaisia mittareita: Pirani- ja termopaarimittareita yleiseen valvontaan sekä ionisointimittareita korkeampiin vakuummein. Jäännökaasun koostumusta voidaan seurata RGA-laitteilla (jäännökaasun analyysi).

Valvonta yhdistetään yleensä venttiileihin, pumppuihin sekä ohjausjärjestelmiin (PLC/SCADA). Automaattinen säätö pitää asetetun paineen lähellä tavoitearvoa ja reagoi poikkeamiin kuten paineen nousuun, kaasukuvan muutoksiin tai vuotoihin.

Käytännön toimenpiteisiin kuuluu vuotavuuden testaus, bake-out, puhdistus ja säännöllinen kalibrointi. Vakuusvalvontaa seurataan ja dokumentoidaan prosessin laadun ja turvallisuuden takaamiseksi, ja sen ylläpito kuuluu huoltotoimenpiteiden ja hyväksyttyjen menettelytapojen piiriin.

Sovellusalueet ovat muun muassa puolijohdeteollisuus, pinnoitusprosessi, massaspektroskopia ja elektronimikroskopit sekä useat tutkimuslaitteet, joissa alipaine vaikuttaa kontrolloidusti prosessin lopputulokseen.