vakuusvalvontaa
Vakuusvalvontaa tarkoitetaan alipaineen seurantaa ja hallintaa järjestelmässä tai prosessissa, jotta saavutetaan ja ylläpidetään haluttu paine-tila, puhtaus ja vakaus. Tämän valvonnan tarkoituksena on varmistaa prosessin luotettavuus, suojata laitteita sekä havaita vuotoja, epäpuhtauksia ja poikkeavuuksia ajoissa.
Keskeisiä mitattavia parametreja ovat paineen arvo ja vaihtelut sekä kaasujen koostumus ja lämpötila. Paineen mittaukseen käytetään
Valvonta yhdistetään yleensä venttiileihin, pumppuihin sekä ohjausjärjestelmiin (PLC/SCADA). Automaattinen säätö pitää asetetun paineen lähellä tavoitearvoa ja
Käytännön toimenpiteisiin kuuluu vuotavuuden testaus, bake-out, puhdistus ja säännöllinen kalibrointi. Vakuusvalvontaa seurataan ja dokumentoidaan prosessin laadun
Sovellusalueet ovat muun muassa puolijohdeteollisuus, pinnoitusprosessi, massaspektroskopia ja elektronimikroskopit sekä useat tutkimuslaitteet, joissa alipaine vaikuttaa kontrolloidusti