vakuusjärjestelmät

Vakuusjärjestelmät viittaavat laitteistoihin ja prosesseihin, jotka on suunniteltu luomaan ja ylläpitämään tyhjiötä, eli tilaa, jossa ilmanpaine on huomattavasti alempi kuin ilmakehän paine. Tyhjiötä käytetään monissa teollisissa, tieteellisissä ja lääketieteellisissä sovelluksissa.

Perusvakuusjärjestelmä koostuu tyhjiöpumpusta, joka poistaa kaasua järjestelmän tilavuudesta, ja suljetusta tilasta, jossa tyhjiötä halutaan ylläpitää. Tyhjiöpumppuja on useita erilaisia, kuten mekaanisia pumppuja (esim. roottoripumput, siipipumput) ja molekyylipumppuja (esim. turbomolekyylipumput, diffuusiopumput), jotka soveltuvat erilaisiin tyhjiötasoihin ja sovelluksiin.

Korkeaa tyhjiötä, jossa paine on erittäin alhainen, käytetään esimerkiksi puolijohdeteollisuudessa ohutkalvojen valmistuksessa, tieteellisessä tutkimuksessa hiukkaskiihdyttimissä ja massaspektrometriassa, sekä avaruustekniikassa simuloimaan avaruusolosuhteita. Lääketieteessä tyhjiötä hyödynnetään esimerkiksi leikkausten aikana ja sterilisoinnissa.

Vakuusjärjestelmien suunnittelussa ja käytössä on tärkeää huomioida materiaalien yhteensopivuus tyhjiöympäristön kanssa, tiivisteiden laatu ja järjestelmän puhdistus kaasun vapautumisen minimoimiseksi. Epäpuhtaudet tai vuodot voivat heikentää saavutettavaa tyhjiötasoa ja vaikuttaa negatiivisesti prosessin lopputulokseen.