vaakumisensorid
Vaakumisensorid, eli vaakumisensorit, ovat laitteita, joita käytetään mittaamaan tyhjiötilan paineen taso. Niiden tehtävänä on seurata ja ilmoittaa, kuinka korkea tai matala paine tyhjiöjärjestelmässä on, jotta prosessit voidaan optimoida ja säätää. Vaakumisensorit ovat keskeisiä erityisesti teollisissa prosesseissa, kuten puolijohdeteollisuudessa, metallintyöstössä, lääketieteellisissä laitteissa ja tieteellisissä tutkimuksissa, joissa tyhjiöolosuhteet vaikuttavat tuloksiin.
Mittausperiaatteet ja tyypit vaihtelevat. Yleisimmät periaatteet ovat Pirani -mittaus, joka perustuu lämmönjohtuvuuden muuttumiseen, ionisaatiomittaus, joka mittaa
Käyttö ja integraatio. Vaakumisensorit tarjoavat yleensä jonkinlaisen sähköisen tai digitaalisen tulosan, kuten 4–20 mA, 0–10 V