Vaakumisensorid

Vaakumisensorid, eli vaakumisensorit, ovat laitteita, joita käytetään mittaamaan tyhjiötilan paineen taso. Niiden tehtävänä on seurata ja ilmoittaa, kuinka korkea tai matala paine tyhjiöjärjestelmässä on, jotta prosessit voidaan optimoida ja säätää. Vaakumisensorit ovat keskeisiä erityisesti teollisissa prosesseissa, kuten puolijohdeteollisuudessa, metallintyöstössä, lääketieteellisissä laitteissa ja tieteellisissä tutkimuksissa, joissa tyhjiöolosuhteet vaikuttavat tuloksiin.

Mittausperiaatteet ja tyypit vaihtelevat. Yleisimmät periaatteet ovat Pirani -mittaus, joka perustuu lämmönjohtuvuuden muuttumiseen, ionisaatiomittaus, joka mittaa ionien muodostumista erittäin alhaisissa paineissa, sekä kapasitansmanometria, jossa paine muuttuu laitteen kapasitanssissa. Lisäksi on olemassa erilaisia yhdistelmä- ja erityisratkaisuja, jotka kattavat laajoja painealueita ja erilaisia kaasutyppejä. Valinta riippuu halutusta painealueesta, mittauksessa tarvittavasta prosessin herkkyydestä sekä ympäristötekijöistä.

Käyttö ja integraatio. Vaakumisensorit tarjoavat yleensä jonkinlaisen sähköisen tai digitaalisen tulosan, kuten 4–20 mA, 0–10 V tai sarjaportin signaalin, ja ne voivat olla kiinnitettyjä osaksi suurempia ohjaus- tai valvontajärjestelmiä. Ne ovat usein kytköksissä tyhjiöpumpun ohjaukseen, häiriöiden havaitsemiseen ja prosessin laadun valvontaan. Kalibrointi ja huolto ovat tärkeitä, sillä kalibrointi on suositeltavaa säännöllisesti sekä mittaustarkkuuden ylläpitämiseksi että mittausehkon kestävyyden varmistamiseksi. Vaakaumisensorien valinta riippuu vaaditusta painealueesta, kaasuseoksesta, käyttöolosuhteista ja tarvittavasta mittaustarkkuudesta.