tyhjiömittaustekniikat
Tyhjiömittaustekniikat viittaavat erilaisiin menetelmiin ja laitteisiin, joita käytetään tyhjiön tason tai paineen mittaamiseen. Tyhjiöllä tarkoitetaan tilaa, jossa paine on merkittävästi alhaisempi kuin ilmanpaine. Tyhjiömittauksia hyödynnetään laajasti teollisuudessa, tutkimuksessa ja kehityksessä monilla aloilla, kuten puolijohteiden valmistuksessa, avaruusteknologiassa, elintarviketeollisuudessa ja tieteellisessä tutkimuksessa.
Yksi yleisimmistä tyhjiömittaustekniikoista on pietsosähköinen paineanturi. Tämä anturi perustuu pietsosähköisen materiaalin ominaisuuteen tuottaa sähköinen signaali, kun
Mekaaniset tyhjiömittarit, kuten Bourdon-putkimittari, ovat myös käytössä tietyissä sovelluksissa, erityisesti silloin, kun tarvitaan yksinkertaista ja edullista
Ionisaatiomittarit jakautuvat yleensä kahteen päätyyppiin: hehkulanka-ionisaatiomittareihin ja Hall-efektiin perustuviin mittareihin. Hehkulanka-ionisaatiomittarit ionisoivat kaasumolekyylejä kuumalla filamentilla