tyhjiömittaustekniikan

Tyhjiömittaustekniikka viittaa menetelmiin ja laitteisiin, joita käytetään mittaamaan painetta tyhjiöympäristöissä. Tyhjiö on tila, jossa kaasunpaine on merkittävästi alhaisempi kuin ilmakehän paine. Tyhjiömittaustekniikoita hyödynnetään monilla teollisuuden ja tieteen aloilla, kuten puolijohdeteollisuudessa, avaruustutkimuksessa, metallurgiassa ja laboratorioissa.

Erilaisia tyhjiömittareita on kehitetty kattamaan laaja painealue. Barometriset mittarit, kuten elohopeabarometri, ovat sopivia korkeammille paineille. Mekaaniset mittarit, kuten aneroidibarometri, perustuvat paineen aiheuttamaan kalvon tai aneroidikapselin muodonmuutokseen. Nämä sopivat yleensä paineisiin, jotka ovat lähellä ilmakehän painetta tai hieman sen alapuolella.

Matalampien tyhjiöalueiden mittaamiseen käytetään usein sähköisiä tai termisiä mittareita. Pirani-mittarit käyttävät lämpöjohtavuuden muutosta kaasupaineen funktiona. Termoelementtimittarit toimivat samankaltaisella periaatteella, mutta mittaavat lämpötilan muutosta kuumennetussa langanpätkässä. Ionisaatiomittarit, kuten kylmäkatodi- ja kuumakatodi-mittarit, mittaavat ionien määrää, joka syntyy kun elektroneja kiihdytetään kaasussa. Nämä mittarit soveltuvat erittäin matalien tyhjiöiden mittaamiseen.

Oikean tyhjiömittaustekniikan valinta riippuu tarvittavasta tarkkuudesta, mitattavasta painealueesta ja käyttöympäristön olosuhteista. Tyhjiömittaus on kriittinen prosessinvalvonnassa ja laadunvarmistuksessa monissa korkean teknologian sovelluksissa.