tétrafluorométhane

Le tétrafluorométhane (CF4) est un gaz incolore et inodore, extrêmement stable chimiquement. Sa molécule est tétraédrique et il est nettement plus lourd que l’air. À température ambiante, il est gazeux et non inflammable. Son point d’ébullition est d’environ -128 °C, ce qui permet de le stocker sous différentes formes selon les conditions.

Il est produit industriellement par fluorination de composés carbonés ou de dérivés carbonés, et peut apparaître comme sous-produit dans certains procédés fluorés. En raison de sa grande inertie, CF4 est utilisé comme gaz de procédé dans des environnements industriels nécessitant une atmosphère chimiquement neutre.

L’usage principal du CF4 est dans la gravure plasma des composants microélectroniques, où il est employé pour retirer des oxydes et d’autres matériaux sur des substrats à base de silice et de matériaux fluorés. Il peut figurer dans des mélanges de gaz pour des procédés de dépôt ou de gravure et peut aussi servir de gaz de référence ou de traceur dans certains essais techniques.

Sur le plan environnemental, le CF4 est considéré comme un puissant gaz à effet de serre avec une longue durée de vie dans l’atmosphère. Ses émissions font l’objet de mesures de réduction et de récupération dans les installations industrielles, avec des technologies de destruction ou de confinement pour limiter son impact.

Sur le plan de la sécurité, le CF4 est peu toxique à l’exposition normale, mais comme tout gaz inerte, il peut provoquer une asphyxie en atmosphère confinée. Sa manipulation exige ventilation et procédures adaptées.