profilométerek

Profilométerek olyan mérőeszközök, amelyek felületek magassági profilját és topográfiáját mérik. A mért adatokból lineáris profilok és/vagy háromdimenziós felületek számíthatók, ezáltal meghatározható a felületi érdesség és a textúra jellegzetessége.

Két fő kategória létezik: kontaktprofilométerek és optikai profilométerek. Kontakprofilométereknél egy vékony, kemény gyémántcsúcs érinti a felületet, miközben a csúcs elmozdulását érzékeli és ezáltal a magasságváltozásokat digitalizálja. Optikai profilométerek non-contact módon mérnek fény segítségével; ide sorolható a konfokális, fehérfény/interferometriai (koherencia-scanoló) rendszerek, a lézer-triangulációs és a strukturált fény alapú eszközök.

A mért adatokból gyakran vonnak le lineáris vagy arealis paramétereket. Ilyenek például a profil szintjén használt Ra, Rq, Rz értékek, valamint a felületszinten értelmezett Sa, Sq, Sz paraméterek. Részletes felületelemekhez gyakran magasság-térképek és topográfiai térképek is készülnek.

Alkalmazási területek közé tartozik a gyártásminőség-ellenőrzés, eszköz- és alkatrésztervezés, anyagtudományi kutatások, mikroelektronika és felületkezelések vizsgálata. Előnyük, hogy a kontakt megoldások precízek és stabilak, míg a nem kontakt megoldások gyorsak és érintésmentesek, de lehetnek korlátozások fényes vagy tükröződő felületeknél, illetve magas költségűek. Jellemző ipari standardok közé tartoznak az ISO 4287 felületi érdesség mérésre és az ISO 25178 család arealis profiljellemzőkre vonatkozó előírásai.