epäpuhtauskaasuun

Epäpuhtauskaasu tarkoittaa kaasuseosta, jossa on haitallisia tai ei-toivottuja epäpuhtauksia puhdasta prosessikaasua käytettäessä. Se voi syntyä raaka-aineista, prosessireaktioista, laitteiden kulumisesta tai ympäristöhaittojen pääsystä järjestelmään. Epäpuhtauskaasut ovat erityisesti kriittisiä järjestelmissä, joissa tiukat laatu- ja turvallisuusvaatimukset vaikuttavat lopputuotteen ominaisuuksiin tai laitteiden kestävyyteen.

Tyypillisiä epäpuhtauksia ovat veden (H2O) ja hapen (O2) kaltaiset kosteutta ja happea sisältävät molekyylit, hiilidioksidi (CO2), typen ja metaanin kaltaiset seokset, rikkivety (H2S), hiilivedyt, haihtuvat rikkihappo- ja suolahappoopit sekä haihtuvat metallieritteet, siloksaanit ja epäpuhtaudet, kuten pöly tai hiukkaset. Vaikutukset voivat ilmetä katalyyttisessä sivuseoksessa, korroosiossa, valintojen tai prosessinopeuden poikkeamina sekä laadun heikkenemisenä.

Poistaminen ja hallinta perustuvat epäpuhtauden tyypin ja pitoisuuksien mukaan. Yleisiä keinoja ovat kaasun kuivatus ja kosteudenpoisto, suodatus ja makro-/mikro-sorvaus, aktiivihiili- tai molekyyliketjuun perustuvat adsorptiot, kemialliset pesut (scrubbing), katalyyttiset tai lämpöaktivoidut käsittelyt sekä kalvoprosessit ja nestemäiset erottimet. Joissain sovelluksissa käytetään kryogeenistä puhdistusta.

Laadunvarmistuksessa mitattu epäpuhtauskonsentraatio ilmoitetaan yleensä ppm- tai ppb-tasolla ja se määritellään tuotteen tai prosessin spesifikaatioissa. Seuranta toteutetaan analyysillä kuten massaspektrometria, GC tai FTIR. Turvallisuusnäkökohdat huomioivat erityisesti reaktiiviset tai myrkylliset epäpuhtaudet sekä mahdolliset syttyvyys- ja korroosioriskit.