Vakuumikomponentit

Vakuumikomponentit ovat tyhjiöjärjestelmissä käytettäviä osia, joiden tehtävänä on tuottaa, ylläpitää ja mitata tyhjiö sekä estää epäpuhtauksien pääsy järjestelmään. Niitä käytetään muun muassa puolijohdevalmistuksessa, pinnoitusprosesseissa ja tutkimuslaboratorioissa.

Vakuumikomponenttien pääluokat ovat pumppaus-, venttiili-, mittaus- sekä liitäntä- ja materiaaliosat. Pumppauskomponentteihin kuuluvat karkeapumput (roughing pumps), turbomolekyylipumput sekä ionipumput ja cryopumput; ne kattavat eri painealueet. Venttiilit, kuten sulku- ja säätöventtiilit, mahdollistavat järjestelmän eristämisen, kaasujen hallinnan ja huollon ilman tyhjiön menettämistä. Mittauslaitteisiin kuuluvat Pirani- ja termoelementtimittarit sekä ionisaatio-mittarit, joilla paine määritellään eri tyhjiöalueilla. Liitännöissä käytetään yleisesti KF/NW-, CF/ConFlat- sekä ISO-tyyppisiä liittimiä; tiiviys varmistetaan sekä elastomeerisillä että metallisilla tiivisteillä. Materiaalit ovat yleisesti ruostumaton teräs, keraamit ja kupari; käytetään myös erityisiä elastomeerisiä tai metallisia tiivisteitä.

Suunnittelussa otetaan huomioon tavoiteltu painealue, kaasun kemialliset ominaisuudet ja puhtauden vaatimukset sekä lämpötilan hallinta ja bake-out-toiminnot. Tyypillisiä käyttökohteita ovat puolijohdeteollisuus, lasi- ja pinnoitusprosessit sekä akatemialaboratoriot. Vakuumikomponenttien valinnassa korostuvat yhteensopivuus järjestelmän muiden osien kanssa sekä huolto- ja luotettavuusvaatimukset.