Kylmäkatodimittareita

Kylmäkatodimittarit, tunnettu myös nimellä kylmäkatodisuihkumittarit tai kylmäkatodigeneraattorit, ovat laitteita, joita käytetään tietyntyyppisten kaasujen ja plasmojen mittaamiseen. Ne perustuvat kylmäkatodipurkauksen ilmiöön, jossa sähkövirta kulkee kaasun läpi matalassa paineessa ilman, että katodin tarvitsee olla kuumennettu ulkoisesti. Tämä luo ionisoitua kaasua, plasmaa, jota voidaan sitten hyödyntää mittaustarkoituksiin.

Kylmäkatodimittareiden toimintaperiaate perustuu siihen, että kaasumolekyylit ionisoituvat sähkökentässä ja nämä ionit kerätään positiiviselle elektrodille. Kerätty virta on suoraan verrannollinen kaasun paineeseen, mikä mahdollistaa paineen mittaamisen. Ne ovat erityisen hyödyllisiä matalissa paineissa, tyhjiöalueella, joissa perinteiset paineanturit eivät toimi. Mittarialue voi vaihdella, mutta tyypillisesti ne kattavat painealueita millitorrista aina muutamiin kymmeniin millibaareihin.

Kylmäkatodimittareita käytetään useilla eri teollisuudenaloilla ja tutkimussovelluksissa. Niitä löytyy esimerkiksi tyhjiöjärjestelmien monitoroinnista, puolijohdeteollisuuden prosessien ohjauksesta, hiukkaskiihdyttimistä ja tieteellisistä tutkimuslaitteista, joissa vaaditaan tarkan tyhjiön ylläpitoa ja mittaamista. Yksinkertaisen rakenteensa ja luotettavuutensa ansiosta ne ovat suosittu valinta monissa sovelluksissa.