Kaasunlähde

Kaasunlähde on laite tai järjestelmä, joka tarjoaa kontrolloidun määrän kaasua prosessiin, laitteistoon tai tilaan. Se voi olla painekaasupullo, varustettuna säätimellä ja virtausmittarilla, jolloin kaasun virtaus on säädettävissä, tai kaasugeneraattori, joka tuottaa kaasua on-demand-periaatteella kemiallisen reaktionin, elektrolyysin tai muun prosessin avulla. Lisäksi käytetään kalibrointikaasuja ja -seoksia, joiden koostumus ja pitoisuudet ovat tarkasti määritettyjä ja joita käytetään analyyttisten mittausjärjestelmien, kuten kaasun kromatografian tai massaspektrometrin kalibrointiin sekä laadunvarmistukseen.

Käyttökohteet: Laboratorioissa kaasunlähteet toimittavat kantakaasua tai prosessikaasua esimerkiksi GC:lle, MS:lle sekä muille analyysilaitteille; teollisuudessa ne toimivat prosessikaasuna tuotantolinjojen ja järjestelmien ylläpidossa; puolijohde- ja materiaalitekniikassa niitä käytetään erityisissä prosessi- ja epäpuhtauden hallinnan tiloissa CVD- ja MOCVD-prosesseissa sekä muissa sovelluksissa.

Turvallisuus ja säädökset: Painekaasut voivat olla myrkyllisiä, hapettavia, palavia tai helposti syttyviä. Kaasunlähteitä käytetään oikeilla säätimillä, venttiileillä, vuotoilmaisimilla, asianmukaisella ilmanvaihdolla sekä varastoinnilla ja koulutuksella, ja niiden käyttö noudattaa soveltuvia standardeja ja säädöksiä.