vakuumlaitteissa
Vakuumlaitteissa tarkoitetaan järjestelmiä ja laitteita, joiden tehtävänä on aikaansaada ja ylläpitää matalapaineinen ympäristö. Niitä käytetään sekä tieteellisessä tutkimuksessa että teollisessa valmistuksessa, missä kaasun läsnäolo voi häiritä kemiallisia reaktioita, fysikaalisia ilmiöitä tai mittauksia.
Ydinrakenteeseen kuuluvat työtilakammio, tyhjenys- tai imujärjestelmä (pumput), tiivisteet ja liitännät sekä mittaus- ja ohjauslaitteet. Pumppuja on
Vakuum-asteet voidaan jakaa useisiin luokkiin, kuten karkea vakuumi, korkea vakuumi ja ultra-high vacuum (UHV). Painearvot mitataan
Toiminta-alueet ovat muun muassa kokeelliset tutkimukset pinnan ja materiaalien ominaisuuksien tutkimiseksi, puolijohdevalmistus, pintapäällystykset sekä analyysit kuten
Ylläpito ja turvallisuus: järjestelmiä ylläpidetään vuotojen ehkäisemisellä, säännöllisellä huollolla sekä bake-out- ja puhdistusprosesseilla. Käyttö tapahtuu usein