vakuumlaitteissa

Vakuumlaitteissa tarkoitetaan järjestelmiä ja laitteita, joiden tehtävänä on aikaansaada ja ylläpitää matalapaineinen ympäristö. Niitä käytetään sekä tieteellisessä tutkimuksessa että teollisessa valmistuksessa, missä kaasun läsnäolo voi häiritä kemiallisia reaktioita, fysikaalisia ilmiöitä tai mittauksia.

Ydinrakenteeseen kuuluvat työtilakammio, tyhjenys- tai imujärjestelmä (pumput), tiivisteet ja liitännät sekä mittaus- ja ohjauslaitteet. Pumppuja on useita tyyppejä: karkea vakuum -männän- tai ruuvipumput, kuivapumput, turbomolekyylipumput sekä ionipumput; järjestelmän käyttötarkoituksesta riippuen voidaan käyttää myös kryopumppuja.

Vakuum-asteet voidaan jakaa useisiin luokkiin, kuten karkea vakuumi, korkea vakuumi ja ultra-high vacuum (UHV). Painearvot mitataan pascaleina (Pa) tai Torrina. Mittauslaitteita ovat Pirani-, kylmäkatodi- tai ionipainemittarit, jotka antavat tietoa paineesta ja epäpuhtauksista.

Toiminta-alueet ovat muun muassa kokeelliset tutkimukset pinnan ja materiaalien ominaisuuksien tutkimiseksi, puolijohdevalmistus, pintapäällystykset sekä analyysit kuten massaspektroskopia ja elektronimikroskopia, joissa alhainen ilmankaasu on välttämätöntä.

Ylläpito ja turvallisuus: järjestelmiä ylläpidetään vuotojen ehkäisemisellä, säännöllisellä huollolla sekä bake-out- ja puhdistusprosesseilla. Käyttö tapahtuu usein inertissä tai puhtaissa tiloissa. Vuotojen hallinta, kaasujen oikea käsittely ja varotoimet pitävät järjestelmän toimintakykyisen ja turvallisena.