mikrosüsteemides
Mikrosüsteemid, tuntud ka kui MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems), on nanomeetrite ja mikromeetrite vahelises skaalas töötavad seadmed. Need ühendavad mehaanilisi ja elektroonilisi komponente ühel ränikiibikes. MEMS-seadmed kasutavad ära materjalide omadusi, mida mikroskoopilisel tasemel ilmneb erinevalt makroskoopilisest maailmast, võimaldades luua väga tundlikke ja väikeseid sensoreid, aktuaatoreid ja muid funktsionaalseid seadmeid.
Nende valmistamine toimub sarnaselt mikroelektroonika tootmisprotsessidele, kasutades fotolitograafiat, söövitamist ja materjalide sadestamist. See võimaldab keeruliste struktuuride
Lisaks sensortehnoloogiale hõlmavad mikrosüsteemid ka mikrotasemel töötavaid aktuaatoreid, nagu mikromootorid ja mikropumbad, mis suudavad tekitada liikumist