mikrosüsteemides

Mikrosüsteemid, tuntud ka kui MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems), on nanomeetrite ja mikromeetrite vahelises skaalas töötavad seadmed. Need ühendavad mehaanilisi ja elektroonilisi komponente ühel ränikiibikes. MEMS-seadmed kasutavad ära materjalide omadusi, mida mikroskoopilisel tasemel ilmneb erinevalt makroskoopilisest maailmast, võimaldades luua väga tundlikke ja väikeseid sensoreid, aktuaatoreid ja muid funktsionaalseid seadmeid.

Nende valmistamine toimub sarnaselt mikroelektroonika tootmisprotsessidele, kasutades fotolitograafiat, söövitamist ja materjalide sadestamist. See võimaldab keeruliste struktuuride loomist ja massilist tootmist soodsalt. MEMS-tehnoloogia on leidnud laialdast rakendust mitmesugustes valdkondades. Näiteks autoindustrias kasutatakse surveandureid mootori juhtimiseks ja turvapatjade aktiveerimiseks. Mobiiltelefonides ja mängukonsoolides leidub kiirendusmõõtureid ja güroskoope liikumise tuvastamiseks ja ekraani orientatsiooni muutmiseks. Samuti on MEMS-seadmed olulised meditsiinitehnoloogias, näiteks vereanalüüsi seadmetes ja mikronõeltes ravimite manustamiseks.

Lisaks sensortehnoloogiale hõlmavad mikrosüsteemid ka mikrotasemel töötavaid aktuaatoreid, nagu mikromootorid ja mikropumbad, mis suudavad tekitada liikumist või vedelikke liigutada. Nende areng jätkub kiiresti, avades uusi võimalusi nutikates seadmetes, robootikas ja isegi nanomeditsiinis.