Massavirtaussäätimiä

Massavirtaussäätimiä, tai englanniksi Mass Flow Controllers (MFC), ovat laitteita, jotka mittaavat ja säätävät tarkasti kaasun tai nesteen massavirtausta. Ne ovat olennaisia monissa teollisissa ja tieteellisissä sovelluksissa, joissa tarkan aineen kulutuksen hallinta on kriittistä. Massavirtaussäädin mittaa aineen virtausta massan yksiköissä aikayksikköä kohti, kuten grammaa sekunnissa (g/s) tai standardikuutiosenttimetriä minuutissa (sccm).

Toimintaperiaatteeltaan massavirtaussäätimet perustuvat usein Coriolis-periaatteeseen tai lämpövirtaan. Coriolis-tyyppiset säätimet hyödyntävät aineen virtaamisen aiheuttamaa Coriolis-voimaa, joka on verrannollinen massavirtaan. Lämpövirtaan perustuvat säätimet taas mittaavat lämpötilan muutosta, joka syntyy, kun aine virtaa kuuman elementin ohi. Säädin vertaa mitattua virtausta asetettuun arvoon ja säätää virtausta sulkuventtiilin avulla.

Massavirtaussäätimiä käytetään laajasti puolijohdeteollisuudessa prosessikaasujen annostelussa, lääketeollisuudessa lääkeaineiden ja kaasujen sekoittamisessa, kemianteollisuudessa reaktioiden ohjauksessa sekä analytiikassa kalibrointikaasujen annostelussa. Niiden tarkkuus ja toistettavuus tekevät niistä korvaamattomia työkaluja monissa korkean teknologian sovelluksissa, joissa pientenkin poikkeamien virtaamassa voi olla merkittäviä seurauksia. Säädintyyppejä on saatavilla erilaisille paine- ja lämpötila-alueille sekä erilaisille kaasutyypeille.