Massavirtaussäätimiä
Massavirtaussäätimiä, tai englanniksi Mass Flow Controllers (MFC), ovat laitteita, jotka mittaavat ja säätävät tarkasti kaasun tai nesteen massavirtausta. Ne ovat olennaisia monissa teollisissa ja tieteellisissä sovelluksissa, joissa tarkan aineen kulutuksen hallinta on kriittistä. Massavirtaussäädin mittaa aineen virtausta massan yksiköissä aikayksikköä kohti, kuten grammaa sekunnissa (g/s) tai standardikuutiosenttimetriä minuutissa (sccm).
Toimintaperiaatteeltaan massavirtaussäätimet perustuvat usein Coriolis-periaatteeseen tai lämpövirtaan. Coriolis-tyyppiset säätimet hyödyntävät aineen virtaamisen aiheuttamaa Coriolis-voimaa, joka on
Massavirtaussäätimiä käytetään laajasti puolijohdeteollisuudessa prosessikaasujen annostelussa, lääketeollisuudessa lääkeaineiden ja kaasujen sekoittamisessa, kemianteollisuudessa reaktioiden ohjauksessa sekä