tükörsima

A tükörsima felület olyan felületet jelent, amelynek felületi érdessége rendkívül kicsi, ezért a fény visszaverődése közel ideális spektrális visszaverődéshez hasonlít. A kifejezés elsősorban optikai és precíziós gyártástechnológiákban használatos, ahol a hullámhossznál kisebb vagy ehhez hasonló görbéket kívánják minimizálni. A tükörsima minőséget nanométeres nagyságrendű érdesség jellemzi.

Mérés és jellemzők: A felületi érdességet gyakran Ra- vagy RMS-értékkel adják meg. Optikai célokra gyakran sub-nanometernél alacsonyabb RMS érdesség a kívánalom, hogy minimalizálják a fény szóródását és a hullámfront torzulását. A felületet interferometriai vagy profilometriai módszerekkel értékelik, és a gyártói követelményeket ezek alapján ellenőrzik.

Előállítás és finomítás: A tükörsima felület elérésére több lépés szükséges: finom csiszolás, polírozás, kémiai-mechanikai polírozás (CMP) és néha elektropolírozás vagy ion-beam utókezelés. A folyamat során a felületi hibák fokozatosan csökkennek, miközben szigorú minőségellenőrzést alkalmaznak.

Alkalmazások: Tükrök és visszaverő elemek optikai rendszerekben, lézeres alkalmazásokban, lencsék felületei, valamint a félvezetőiparban és mikro- vagy nanoeszközök gyártásában gyakran igénylik a tükörsima felületeket. A tükörsima felületek hozzájárulnak a magas fény-visszaverődéshez és a diffrakciómentes működéshez.