Vaakumisüsteemid
Vaakumisüsteemid viitavad seadmete ja protsesside kogumile, mida kasutatakse ruumis rõhu vähendamiseks atmosfäärirõhust madalamale tasemele. Need süsteemid on laialdaselt kasutusel erinevates tööstusharudes ja teadusvaldkondades, kus madalrõhu keskkond on vajalik konkreetsete toimingute teostamiseks või toodete loomiseks. Vaakumisüsteemid koosnevad tavaliselt vaakumpumbast, mis eemaldab gaasi süsteemist, ning erinevatest komponentidest, nagu torud, ventiilid ja mõõteriistad, mis kontrollivad ja jälgivad vaakumi taset.
Vaakumpumbad jaotatakse üldiselt kaheks kategooriaks: primaarsed ja sekundaarsed pumbad. Primaarsed pumbad loovad esmase vaakumi, mis võib
Vaakumisüsteemide rakendused on mitmekesised. Neid kasutatakse pooljuhtide tootmisel, kus puhas ja kontrollitud keskkond on kriitilise tähtsusega,