vacuümpompen

Vacuümpompen zijn apparaten die gas uit een afgesloten ruimte verwijderen en zo een vacuüm creëren. Ze worden toegepast in wetenschappelijk laboratoriumwerk, industriële processen en technologieën die een gecontroleerde, lage-drukomgeving vereisen. Een vacuüm ontstaat wanneer de druk in een ruimte aanzienlijk lager is dan atmosferisch; de mate van vacuüm wordt uitgedrukt in eenheden zoals pascal, millibar of torr en is afhankelijk van het pompontwerp, lekkages en de volumes.

Er bestaan verschillende hoofdtypen vacuümpompen. Positieve verdringerspompen verwijderen gas door een afwisselend volume te creëren dat gas aantrekt en afvoert, zoals zuigerpompen en vleugelpompen. Deze pompen leveren meestal middelhoge tot lage vacuüm, en vereisen vaak een ondersteuningspomp om bij lagere drukken te blijven functioneren. Turbomoleculaire pompen genereren een hoogvacuum door moleculen met hoge snelheid weg te duwen; ze worden vaak gebruikt in combinatie met een backing-pomp. Ionenpompen en cryopompen worden ingezet voor ultrahoog vacuum: ionenpompen verwijderen gas door ionisatie en hechting aan elektroden; cryopompen vangen gas bij extreem lage temperaturen op aan een koud oppervlak.

Bij vrijwel elk systeem speelt een ondersteuningspomp (backing-pomp) een cruciale rol om het gewenste drukniveau te bereiken en lekkages af te voeren.

Historisch: Otto von Guericke ontwikkelde in de 17e eeuw de eerste succesvolle vacuümpompen en demonstreerde het bestaan van vacuum met zijn Magdeburgse halve bollen. Sindsdien zijn pompen verder geavanceerd en toegesneden op specifieke drukbereiken en toepassingen.

Toepassingen omvatten fundamenteel wetenschappelijk onderzoek, elektronica- en halfgeleiderfabricage, vacuümcoating en -depositie, vacuümverpakken en vacuümovens voor materials processing.