mikrotöötlusseadmed

Mikrotöötlusseadmed viitavad laiale valikule masinatest ja tööriistadest, mida kasutatakse väga väikeste osade või struktuuride tootmiseks või töötlemiseks, sageli mikromeetrilises või isegi nanomeetrilises skaalas. Need seadmed on keskse tähtsusega mikrotööstuse arengus, mis hõlmab miniatuursete seadmete ja süsteemide loomist.

Üks levinumaid mikrotöötlustehnikaid on fotolitograafia, mida kasutatakse pooljuhtkiipide valmistamisel. See protsess kasutab valgust, et kanda kujutised maskilt substraadi pinnale, luues mikroskoopilise suurusega mustreid. Teine oluline meetod on reaktiivioonjuhtimine (RIE), mis on kuivsöövitustehnika, mida kasutatakse materjalide selektiivseks eemaldamiseks, et luua keerukaid struktuure.

Muude oluliste mikrotöötlusseadmete hulka kuuluvad elektronkiirelitograafia (EBL), mis võimaldab saavutada veelgi suuremat resolutsiooni kui fotolitograafia, ning fookustatud ioonkiire (FIB) süsteemid, mida saab kasutada nii materjalide eemaldamiseks kui ka paigutamiseks nanomeetrisel tasemel. Lisaks kasutatakse sageli mehaanilisi mikrotöötlusmeetodeid, nagu mikrotihvtide peksmine ja mikrolihvimine, konkreetsete mikroosade valmistamiseks.

Need seadmed on hädavajalikud mitmesuguste rakenduste jaoks, sealhulgas mikrosüsteemide (MEMS), meditsiiniseadmete, optiliste komponentide ja uurimistööriistade tootmiseks. Mikrotöötlusseadmete pidev areng võimaldab luua üha väiksemaid, võimsamaid ja funktsionaalsemaid seadmeid, mis mõjutavad paljusid teadus- ja tehnoloogiaalaseid valdkondi.