mikrotöötlustehnikaid
Mikrotöötlustehnikaid, tuntud ka kui mikrotöötlus, viitab meetodite ja protsesside kogumile, mida kasutatakse väga väikeste osade, struktuuride ja seadmete valmistamiseks. Need tehnikad võimaldavad luua esemeid, mille mõõtmed on mikromeetrites või isegi nanomeetrites. Mikrotöötluse valdkond on viimastel aastatel kiiresti arenenud, mida on juhtinud vajadus üha väiksemate ja keerukamate seadmete järele erinevates rakendustes, sealhulgas elektroonikas, meditsiinis ja teadusuuringutes.
Üks levinumaid mikrotöötlustehnikaid on fotolitograafia. See protsess kasutab valgust mustrite ülekandmiseks maskilt substraadile. See on laialdaselt
Lisaks mehaanilistele protsessidele kasutatakse ka keemilisi meetodeid. Niisugune on kuivsöövitus, kus plasma või reaktiivsed gaasid eemaldavad